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隨著半導(dǎo)體行業(yè)向更高集成度、更小尺寸和更高性能發(fā)展,先進(jìn)封裝技術(shù)(如Fan-Out、2.5D/3D IC、Chiplet等)成為推動(dòng)摩爾定律延續(xù)的關(guān)鍵。在這一過(guò)程中,蝕刻技術(shù)的優(yōu)化直接影響封裝良率、可靠性和成本。作為國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的蝕刻設(shè)備供應(yīng)商,中境源科技(深圳)有限公司(以下簡(jiǎn)稱(chēng)“中境源科技”)憑借自主創(chuàng)新,為先進(jìn)封裝提供高精度、高效率的蝕刻解決方案。
先進(jìn)封裝對(duì)蝕刻技術(shù)的新挑戰(zhàn)
在先進(jìn)封裝工藝中,蝕刻技術(shù)需滿(mǎn)足以下關(guān)鍵需求:
高精度圖形化:TSV(硅通孔)、RDL(再布線層)等結(jié)構(gòu)要求亞微米級(jí)蝕刻精度。
異質(zhì)材料兼容性:需同時(shí)處理硅、介電材料、金屬等不同材料,避免過(guò)度刻蝕或殘留。
低損傷工藝:減少對(duì)敏感器件(如AI芯片、存儲(chǔ)單元)的熱/電損傷。
高產(chǎn)能與低成本:適應(yīng)大規(guī)模生產(chǎn)需求,提升蝕刻速率并降低化學(xué)品消耗。
中境源科技(深圳)有限公司的蝕刻液再生及銅回收設(shè)備和中水回用成套設(shè)備為 PCB 行業(yè)重金屬?gòu)U水處理提供了可行的解決方案。通過(guò)高效的技術(shù)手段,實(shí)現(xiàn)了蝕刻液循環(huán)利用、銅回收以及廢水達(dá)標(biāo)回用!
中境源科技(深圳)有限公司位于深圳市大工業(yè)區(qū)內(nèi),是一家專(zhuān)業(yè)從事PCB廢液再生及銅回收、中水回用(膜處理)、廢物綜合利用及循環(huán)資源再生等設(shè)備新型高科技環(huán)保企業(yè),擁有高級(jí)技術(shù)人才20多人,員工150多人。公司集研究、開(kāi)發(fā)、設(shè)計(jì)、安裝,調(diào)試及售后服務(wù)于一體。
本公司經(jīng)過(guò)多年的研究、試驗(yàn),并成功運(yùn)行的蝕刻液再生及銅回收技術(shù),能將廢蝕刻液中的金屬銅離子,制備硫酸銅溶液,再經(jīng)電化合成為金屬銅,其銅回收率達(dá)到99.5%。廢蝕刻液只須添加少許的蝕刻鹽及氨水、可循環(huán)使用,銅得到了回收,該設(shè)備在恩達(dá)電路(深圳)有限公司的每月2.5萬(wàn)平方米產(chǎn)量、歷時(shí)半年的生產(chǎn)運(yùn)行考核,其設(shè)備運(yùn)行穩(wěn)定,得到省市領(lǐng)導(dǎo)及環(huán)保部門(mén)的高度評(píng)價(jià),減少了污染,增加了企業(yè)的收入。2005年6月10日又通過(guò)了信息產(chǎn)業(yè)部的鑒定,與會(huì)專(zhuān)家高度評(píng)價(jià)并一致認(rèn)為“該設(shè)備能夠全程再生蝕刻液、回收銅,廢液不再對(duì)外排放,在清潔生產(chǎn)、節(jié)能、資源再生等方面效果顯著,銅回收率高。具有顯著的環(huán)境保護(hù)效舉益和經(jīng)濟(jì)效益,是印制板行業(yè)上應(yīng)用,具有獨(dú)立、自主、創(chuàng)新的知識(shí)產(chǎn)權(quán)。不僅可提高企業(yè)的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力,而且實(shí)現(xiàn)了“清潔生產(chǎn),變廢為寶”的環(huán)境理念,建議在全行業(yè)推廣應(yīng)用”。